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제품 상세

IMS-3000


IMS-3000은 캐리어 사이에서 300mm 웨이퍼를 이동시키는 장치입니다. 필요한 경우 반전 로봇을 적용하여 웨이퍼를 반전시킬 수 있습니다.
Open Cassette, FOSB, FOUP 모두 사용 가능하며, 사용하는 캐리어의 종류(Open, FOSB, FOUP)를 자동으로 구분하여 작업자의 실수를 방지할 수 있습니다.

제품 이미지 및 사양

IMS-3000-4L(4Load Port) ｜ IMS-3000-2L(2Load Port)

제품 상세 이미지 및 추가설명

Detail view

Specification

Use 2 Load port

1 wafer transfer robot (single arm, Edge handling, Wafer flip option)

FFU, Ionizer, RFID-Reader

Support FOUP, FOSB, Open Cassette

Auto recognition of Carrier type (FOUP, FOSB, Open Cassette)

Logging Cassette Information

Wafer Flip Function