3-1. Final Sorter

8 Load Port, 7 Load Port-1F, 4/2 Load Port IWS-3000-8L(8개 로드 포트), IWS-3000-7L1F(7개 로드 포트 1개 플리퍼) 반전 로봇을 적용하여 웨이퍼를 반전시킬 수 있습니다. Open Cassette, FOSB, FOUP를 모두 사용할 수 있으며, 사용된 캐리어 유형(Open, FOSB, FOUP)은 다음과 같이 자동으로 구분할 수 있습니다 조작자의 실수를 방지합니다.

IWS-3000(8Load Port)

IWS-3000(7Load Port 1Flipper)

IMS-3000(4Load Port)

IMS-3000(2Load Port)

IWS-3000(8Load Port) ｜ IWS-3000(7Load Port 1Flipper) ｜ IMS-3000(4Load Port) ｜ IMS-3000(2Load Port)

3-2. Cu-haze, Edge/DSOD, Edge/Cu-haze

CHAC-3000, EDIS-3000, ECIS-3000는 Si Wafer의 Edge 결함과 Surface의 Haze Pattern, COP(Crystal Originated Pits), 헤이즈 패턴을 검출하는 장비입니다.

CHAC-3000

EDIS-3000

ECIS-3000

CHAC-3000 ｜ EDIS-3000 ｜ ECIS-3000