ESIS-3000はEdge / Notch / Surface, EIS-3000はEdge / Notch検査を行う装置としてお客様のご希望通りの機能を遂行します。
圧倒的な技術の差でウェハの様々なDefectsを検出することができます。また、国内の企業と技術提携をすることでグローバル競争でも先制的なマーケットリーダーとして多くのお客様からご満足いただいています。この製品を活用すればこれまでに発見できなかった様々な形態のDecectsを見ることができます。