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제품 상세

IWS-3000


IWS-3000은 캐리어 사이에서 300mm 웨이퍼를 이동시키는 장치입니다. 필요한 경우 반전 로봇을 적용하여 웨이퍼를 반전시킬 수 있습니다.
Open Cassette, FOSB, FOUP 모두 사용 가능하며, 사용하는 캐리어의 종류(Open, FOSB, FOUP)를 자동으로 구분하여 작업자의 실수를 방지할 수 있습니다.

제품 이미지 및 사양

IWS-3000-8L(8Load Port) ｜ IWS-3000-7L1F(7Load Port 1Flipper)

Wafer Diameter 300㎜ ± 0.2㎜
Wafer Thickness 775㎛ ± 20㎛
Warp 100㎛ Max
Notch Depth 1.00 ~ 1.25㎜
Wafer Type ETCHED, DSP, EPI, CVD
Cover Material Stainless Steel
Dimension(mm) 2700 x 1900 x 2100 (㎜)

제품 상세 이미지 및 추가설명

Detail view