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제품 분류 상단 설명

Edge/Surface Inspection Equipment

300mm / 200mm Silicon wafer Edge/Surface Inspection Equipment

제품 분류 상단 설명

ESIS-3000는 Edge / Notch / Surface, EIS-3000는 Edge / Notch 검사를 진행하는 장비로 고객이 원하는 기능을 수행 합니다.
압도적인 기술의 차이로 웨이퍼의 다양한 Defects를 검출할 수 있습니다. 또한, 국내 기업들과 다양한 기술 협력을 통해 글로벌 경쟁에서도 선제적인 시장 리드로 많은 고객사들의 만족을 이끌어
내고 있습니다. 이 제품을 활용한다면 그동안 알 수 없었던 다양한 형태의 Defects를 볼 수 있습니다.

Edge Defects

Classification Contamination / Crack / Chip

Notch Defects

Illumination control (Upper Bevel/Lower Bevel/Apex)

Surface Defects

Pin Hole / PIT / Particle

제품 목록

ESIS-3000

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EIS-3000

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추구하는 인재상

우리는 그동안 고객이 검출할 수 없었던 작은 Defect 하나까지 검출하여
완벽한 상태의 Wafer를 생산할 수 있도록 다양한 기술 발전의 노력을 한시도 멈추지 않습니다.